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一、 概述
背壓檢漏法是在氦質譜檢漏法中應用較廣泛的方法之一，它主要用于封離電子器件、半導體器件和具有內空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。
A601氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進行氦質譜檢漏前的氦氣加壓，也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質譜檢測時示蹤氣體為氦氣，進行氟油檢漏時示蹤物質是輕氟油。
二、 主要技術指標
允許Z高充壓： ≤0.6MPa
壓力容器尺寸： Ф150×200 ㎜/Ф312×250 ㎜
容器真空壓力： ≤50Pa
壓力范圍：0.2-0.6MPa
電源功率： 220V 400W
三、使用條件
設備使用之前需準備滿足實驗需要的氮氣、氦氣和輕氟油(F113)
四、 設備結構
該設備采取對稱結構，具有兩套功能完全相同的檢測系統，上面兩個容器用做元件在氦氣中加壓或浸在輕氟油中的氮氣加壓。下面兩個容器用來存放輕氟油。設備臺面上除加壓容器、控制閥門、壓力表還安裝有液位顯示裝置。臺面下部有機械泵、貯液罐和防止誤操作裝置等，設備操作開關和氣路閥門在機架的左側。
五、配置清單
序號 | 名稱 | 規格 | 數量 |
1 | 壓力容器 | Φ150x200mm Ф300×250mm | 2 個 |
2 | 樣品提籃 | Φ135x150mm | 2 個 |
3 | 輕氟油存儲器 | Φ150x200mm | 2 個 |
4 | 真空壓力閥 | Ф12 | 4個 |
5 | 真空壓力閥 | Ф6 | 7件 |
6 | 機械泵 | 4L/S | 1 臺 |
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